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薄膜製程風機案例｜
電子製程排風系統

案例地點：新竹科學園區
案例類型：電子製程
應用用途：薄膜製程排風
採用機型：耐高溫訂製風機*17台
使用者：不公開

薄膜製程風機案例說明

這是一間電子製程的薄膜製程風機案例。薄膜製程（如半導體、光電或相關電子製程）對空氣品質、風量穩定性與潔淨度要求極高，製程中產生的廢氣或需控制的氣流必須精準排出。本案選用質昌風機，透過現場試運轉與運行觀察，確認風機性能符合設計需求並維持穩定運轉。

系統配置重點

本案針對薄膜製程的特殊需求進行配置，並具備以下特點：

  • 製程專用排風：依薄膜製程風量、靜壓與廢氣特性選配風機，確保排風穩定
  • 高精度運轉：電子製程對氣流穩定性要求高，風機需維持穩定風量與壓力
  • 現場驗證：透過現場試運轉與運行觀察，確認性能符合設計需求
  • 長期穩定：適合電子廠連續運轉環境，減少異常停機風險

實務運轉建議

  • 配合製程條件調整：依實際產線負載與廢氣產生量調整運轉參數
  • 定期監測：電子製程建議持續監控風量、壓力與振動，及早發現異常
  • 定期保養：維持葉輪清潔與軸承狀態，確保長期精度

導入效益

穩定製程氣流，提升產品良率

薄膜製程對氣流控制敏感，穩定的排風有助於維持製程環境一致性，降低因氣流不穩造成的品質波動。

符合電子廠運轉需求

工業級設計搭配現場驗證，確保風機在電子製程環境中長期穩定運轉，減少非預期停機。

整體而言，這套薄膜製程風機系統安裝後，製程排風效能獲得確認與穩定提升。對於同樣有電子製程或薄膜製程排風需求的業者，質昌風機可提供符合高精度要求的工業風機解決方案。

常見問題

薄膜製程對風機有什麼特殊要求？

薄膜與電子製程通常需要穩定風量、適當靜壓，並可能對潔淨度、振動或材質有額外要求。選型時需依實際製程條件詳細評估。

為什麼電子製程風機需要現場試運轉？

電子製程對氣流精度要求高，現場試運轉可驗證風機在實際風管、阻力與環境條件下的性能，確保符合設計需求。

可以客製化薄膜製程風機嗎？

可以。質昌風機可依風量、靜壓、材質、潔淨需求與安裝空間進行客製，並透過現場驗證確認效能。

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